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8寸晶圆显微镜检测系统的前世今生

作者:上海豫光 来源:未知 日期: 2010-10-12 11:47:33
导读:8寸晶圆显微检测系统是一款新型机械手,由北京自动化技术研究院主持研究,历时六个月,在研发过程中,做了很多改进,像机械设计、软件设计、电路设计和气路设计的…
8寸晶圆显微镜检测系统是一款新型机械手,由北京自动化技术研究院主持研究,历时六个月,在研发过程中,做了很多改进,像机械设计、软件设计、电路设计和气路设计的流程和操作步骤,该项系统全部由自动化技术研究院自主研安,具有非常高的排它性,在新型系统的软件部分,实现了模块化和标准化的应用,这样方便了工作人员进行调试和维修,以设备断电为例,调试人员所花时间比以前大大缩短,并且在新的软件版本中,还对人机界面做了改善,提升了用户体验,使得操作者可以在友好的界面中易于操作,同时还在电子电路设计方面控制了电机和传感器反馈给板卡的信号,大大提升了操作的安全性。
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