测量范围：

X向行程：200㎜ 圆工作台直径：φ213㎜

Y向行程：100㎜ 平工作台尺寸（㎜）：260×270

测角目镜角度分划范围：360° 顶针间的最大夹紧长度：700㎜

螺纹轮廓目镜角度分划范围：±7° 顶针间能容纳的最大直径：φ100㎜

圆工作台角度分划范围：0°~360° 高顶针架最大夹紧长度：200㎜

圆分度头角度分划范围：0°~360° 高顶针架能容纳的最大直径：φ250㎜

主显微镜立柱的倾斜范围：±12° 干涉狭缝旋转范围：±90°

分度值：X、Y向分度值：0.0002㎜ 圆工作台角度分度值：30″

测角目镜角度分度值:1′ 圆分度头角度分度值：1′

轮廓目镜角度分度值：±12 主显微镜立柱倾斜角度分度值：30′

测量准确度（被测件与仪器温度差别不大于0.5℃,仪器室内温度20℃±1℃）：
(1+L/100)μm，其中L为测量长度，单位：㎜

物镜放大率，工作距离及视场直径：