1、干涉显微镜的主要用途和特点 |
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干涉显微镜是用来测量精密加工零件(平面、圆柱等外表面)光洁度的仪器,也可以用来测量零件表面刻线,镀层等深度。仪器配对各种附件,还能测量粒状,加工纹路混乱的表面,低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上,对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1~0.03微米,用测微目镜和照相方法来评定▽10~▽14光洁度的表面。
本仪器适用于厂矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校,科学研究等单位。 |
2、干涉显微镜的技术参数 |
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测量表面光洁度范围(表面粗糙度) ▽ 10~ ▽ 14 |
工作物镜的数值孔径 |
0.65 |
工作距离 |
0.5毫米 |
仪器的视场 |
目视 |
φ0.25毫米 |
照相 |
0.21×0.15毫米 |
仪器的放大倍数 |
目视 |
500倍 |
照相 |
168倍 |
测微目镜放大倍数 |
12.5倍 |
工作台升程 |
5毫米 |
X、Y方向移动范围 |
≈10毫米 |
旋转运动范围 |
360° |
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3、仪器成套性 |
1、仪器主体 1台
2、10X测微目镜 1件
3、狭缝目镜 1件
4、V型块 1件
5、6V、5W灯泡 6件
6、试样夹 1件 |
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